磁悬浮分子泵清洁保养

磁悬浮分子泵凭借其无接触、无磨损、高转速和高真空度的性能，已成为半导体、科研等精密制造领域的设备。为确保其长期稳定运行并延长使用寿命，规范化的清洁保养至关重要，重点在于预防污染和谨慎操作：

1.日常监控与基本维护：

*环境清洁：保持泵体周围环境高度洁净，减少粉尘、油雾等污染物侵入。

*运行参数监控：定期记录泵的转速、温度、电流、振动等关键运行参数，及时发现异常波动。

*表面清洁：使用无绒软布（如超细纤维布）沾取少量高纯度溶剂（如无水乙醇、异），轻柔擦拭泵体外壳，清除灰尘和轻微污渍。严禁使用腐蚀性或研磨性清洁剂。

2.定期保养：

*前级过滤器检查/更换：根据工作环境和泵的使用频率，定期检查并清洁或更换入口处的颗粒物过滤器（若有配置），防止大颗粒进入泵腔。

*冷却系统检查：确保冷却风扇或水冷通道畅通无阻，散热良好，避免泵体过热。

*连接法兰清洁：在拆卸泵进行系统维护时，务必清洁连接法兰密封面，确保无颗粒物或旧密封圈残留，保证真空密封性。

3.深度清洁与维护(禁区)：

*内部腔体与转子清洁：严禁用户自行拆卸泵体内部进行清洁！磁悬浮转子系统极其精密，对平衡和洁净度要求极高。任何不当操作都可能导致转子损伤、动平衡破坏或引入致命污染。当泵腔内部（如转子叶片、定子叶片、泵壁）因工艺气体反应、颗粒物沉积或油污反流等需要清洁时：

*必须由原厂授权或具备资质的服务工程师进行操作。

*在超净环境下进行，使用工具和的高纯度清洁溶剂。

*遵循极其严格的清洁、干燥和重新装配流程，确保无残留。

*清洁后必须进行级的动平衡校准和高标准的性能测试。

磁悬浮分子泵的清洁保养在于“预防为主，深度”。用户层面的重点在于保持环境清洁、监控运行状态、定期更换前级滤网及进行外壳清洁。涉及泵腔内部及转子的任何操作，必须交由机构完成，这是保护设备价值、维持其性能与超长寿命的前提。严格遵守规程，方能确保这台精密真空心脏持续运转。