麻烦请教各位！如何维修德国Leybold分子泵？ 十万火急！

真空度很好的情况下，Edwards进口分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池 全文

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分子泵（涡轮分子泵）是一种高真空泵，其工作原理依赖于气体分子在高速旋转叶片作用下的定向运动。然而，它无法直接在大气压下启动和运行，主要原因包括以下三点：一、气体分子自由程的限制分子泵的工作效率与气体分.. 全文

Edwards进口分子泵的变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？ ①电压不稳②强干扰③高压打火 全文