如何对安捷伦分子泵维护？十万火急

真空度很好的情况下，Edwards进口分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池 全文

分子泵是一种的真空获得设备，其构成主要包括以下几个关键部分： 1.涡轮：这是分子泵的部件。它由多个叶轮组成，这些叶轮之间的距离非常小（可达到纳米级别），通过高速旋转来携带气体.. 全文

拆卸，清洗和安装机械Leybold真空泵时，必须注意不要损坏密封面，也不要丢失螺丝。清洗并干燥要吹干的零件。（温度不应太高，时间不应太长。在安装过程中擦拭真空泵壁。应使用少量润滑脂，以尽可能消除死角。 全文

分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象? 原因：附近有光照或其他热源。 解决方法：避免光照或热源。 全文