潽拓光电：分子泵常见故障

分子泵常见故障及解决方法分子泵作为高真空系统的设备，其故障直接影响系统性能。常见故障主要分为以下几类：**1. 启动故障**表现为无法正常启动或启动后立即停机。主要原因包括电源电压异常（波动超过±10%）、控制器电路板损坏或电机绕组短路。需检查供电稳定性，使用万用表检测电机绕组阻值（正常值约5-15Ω）。机械卡死多因轴承失效或转子变形，需拆卸后手动测试转动灵活性。**2. 异常噪音**高频啸叫（＞8kHz）多由陶瓷轴承磨损导致，伴随振动值超过0.5mm/s（正常＜0.3mm/s）。金属碰撞声提示转子叶片与定子间距异常（标准间隙0.1-0.3mm），?柰；觳槎胶狻Ｒ煳镒不魃枧挪檎婵涨惶澹帕Ｎ铮?0μm即可能造成损伤。**3. 抽速下降**真空度劣化至10^-4 Pa以下时，首先排查前级泵（旋片泵/干泵）是否达到5-10Pa基础真空。氦质谱检漏仪检测系统漏率应＜1×10^-9 Pa·m3/s。油润滑泵需检查涡轮级油雾浓度，污染油液会形成反流，导致抽速下降30%以上。**4. 过热报警**轴承温度超过80℃将触发保护，常见于高速段（＞400Hz）。散热不良需清理风道积尘（建议每月吹扫），润滑油缺失时摩擦系数增加0.2-0.5，需补充酯类润滑油。温度传感器故障率约3%，可用热电阻模拟器校准。**预防性维护建议**每2000小时需进行动平衡校正（残余不平衡量＜1g·mm），年保养更换轴承组件。保持环境温度15-25℃，湿度＜70%。建议配置不间断电源，电压波动控制在±5%以内。通过振动频谱分析可实现80%故障的早期预警。及时处理这些故障可延长分子泵使用寿命至5-8年，降低60%以上的意外停机损失。维护时应佩戴防静电手环，避免精密部件ESD损伤。