哪位知道爱德华分子泵控制器维修要注意什么内容？

爱德华分子泵控制器在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解.. 全文

Edwards真空分子泵低振动：磁悬浮意味着无摩擦，因此振动很低，此外这种特性能够保持不变，并且不会随零件磨损而化。 全文

英国Edwards分子泵的维修方法主要包括以下步骤： 1.故障确认与电源关闭 *观察设备是否无法正常工作，检查电源是否正常供电。如果有明显的损坏或故障指示灯亮起，则需要.. 全文

Alcatel真空分子泵长久性停用，需在泵全部拆装，擦洗水分，将转动部位及相接处涂以油脂装好，稳妥储放。 全文