潽拓光电：分子泵故障处理

分子泵故障处理指南分子泵作为高精密真空设备的部件，其稳定运行直接影响真空系统的性能。常见故障处理需遵循以下步骤： 一、启动故障处理1. 检查电源：确认380V三相电源相位正确，变频器无过载报警2. 测试控制器：用万用表测量控制板输出电压（正常范围24-30V DC）3. 排查机械卡阻：手动盘车检测轴承阻力（标准值＜0.5N·m） 二、异常噪音处理1. 轴承故障判断：使用定位异响部位，800Hz以上高频噪音提示轴承损坏2. 异物排查：拆解进气口滤网，使用内窥镜检查涡轮级间（建议每2000小时清洁）### 三、真空度下降处理1. 密封检测： - 氦质谱检漏仪检测法兰（漏率＜1×10^-9 Pa·m3/s） - 更换失效的氟橡胶密封圈（压缩量保持30%）2. 油质监测：取样检测扩散泵油粘度（新油40mm2/s，报废值＜28mm2/s） 四、温度异常处理1. 散热系统检查： - 水冷系统流量≥5L/min，温差＜3℃ - 风冷设备清洁翅片（压降＜50Pa）2. 润滑系统维护：补充合成酯类润滑油（ISO VG22），单次注油量不超过50ml### 预防性维护要点1. 建立振动监测档案（速度值＜4.5mm/s RMS）2. 每运行4000小时更换分子筛吸附器3. 使用红外热像仪定期扫描电机温升（ΔT＜15K）注意事项：处理前必须执行标准泄压流程，待泵体温度降至40℃以下方可操作。涉及转子动平衡（G2.5级）或磁轴承（间隙0.1-0.3mm）调整时，建议返厂维护。通过系统化故障诊断和预防性维护，可将分子泵MTBF提升至30,000小时以上，显著降低非计划停机风险。