谁能帮助我！怎么维修Leybold分子泵？

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开Edwards进口分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。 全文

爱德华分子泵控制器在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解.. 全文

检查真空表是不是出现了问题，爱德华分子泵控制器出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指.. 全文

磁悬浮分子泵升级改造：迈向、可靠真空新纪元在半导体制造、精密镀膜、科研等对真空环境要求严苛的领域，传统分子泵的机械磨损、振动噪声和维护成本正日益成为制约发展的瓶颈。磁悬浮分子泵的升级改造，正是针对这.. 全文