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Edwards进口分子泵维修要注意什么内容？急需赐教

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当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。在再次打开Edwards进口分子泵之前，请确保水路畅通。当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。
Edwards进口分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。打开相应的高压阀以启动分子泵
当Edwards进口分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。

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