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谁能回答！Edwards真空分子泵维修的维修注意事项有哪些？

谁能回答！Edwards真空分子泵维修的维修注意事项有哪些？
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  • 当Edwards真空分子泵维修M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
  • 打开Edwards真空分子泵维修之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。
  • Edwards真空分子泵维修故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
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