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维修Edwards真空分子泵要注意哪些细节？ 急需赐教

维修Edwards真空分子泵要注意哪些细节？ 急需赐教
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  • Edwards真空分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏
  • 当Edwards真空分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。
  • Edwards真空分子泵每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。
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