维修Edwards真空分子泵要注意哪些细节？ 急需赐教

磁悬浮分子泵的保养周期与维护要点（约450字）磁悬浮分子泵作为高精密真空设备，其保养周期需根据运行工况、负载强度和环境条件综合确定。常规建议如下：1. 基础维护周期建议每6-12个月进行预防性维护，适.. 全文

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开Edwards真空分子泵维修之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。 全文

爱德华分子泵控制器在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解.. 全文

正常使用下，为什么Edwards真空分子泵油池会出现裂纹或者变形 原因：过热，负载大 解决措施：检查冷却系，检查系统 全文