分子泵的工作原理是什么？大神请赐教

检查真空表是不是出现了问题，Edwards真空分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵.. 全文

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机q进行检查。 在再次打开Edwards二手分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。 全文

Leybold分子泵出口油雾过滤器为标准配置，真空泵油循环使用，无油烟，清洁、环保、省油。 全文

胶圈口Edwards进口分子泵要用多少卡钳，使用才安全？ 不作特殊限定，至少3个，按照法兰大小可选3、6、12、24等 全文