SHIMADZU真空泵出现故障应该怎么解决呢 ？知道的请回答

爱德华分子泵维修不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵 全文

Edwards进口分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。 全文

是异物掉入：没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或.. 全文

高真空分子泵维修服务费用解析高真空分子泵作为半导体制造、真空镀膜、科研实验等领域的设备，其维修成本受多重因素影响，通常单次维修费用在5,000至30,000元之间波动。具体费用构成包含以下关键要素：1.. 全文