麻烦请教各位！维修Edwards真空分子泵维修要注意什么？

空气过滤器阻塞。清洁并更换空气滤芯。叶片磨损变形。更换叶片。排气过滤器阻塞。更换新排气过滤器。 全文

.油已经积碳，堵塞了油路，真空泵油无法起到很好的润滑作用，造成泵体温度过高，真空泵的使用不当，所以平时应注意真空泵油的正确使用。真空泵油在泵体内担负着润滑、密封、和冷却的作用。 全文

Edwards二手分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？ 原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。 解决方式：应是偶.. 全文

真空度很好的情况下，Edwards进口分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池 全文