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网友们请赐教！维修Edwards进口分子泵时需要注意什么？

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当Edwards进口分子泵M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
打开Edwards进口分子泵之前，必须先打开冷却水阀。分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀。
当Edwards进口分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作。当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。

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