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Edwards二手分子泵维修有什么注意事项？大侠们，求解

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当Edwards二手分子泵M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。
Edwards二手分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置，此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常，可能是分子泵电源故障。请联系制造商。
Edwards二手分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。打开相应的高压阀以启动分子泵

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