帮个忙，如何维修德国Leybold分子泵？

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爱德华分子泵控制器在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解.. 全文

LEYBOLD在世界上四个国家设有工厂，每家工厂各自生产不同系列的真空元部件。其中有位于：德国的科隆，公司总部所在地，几乎生产所有系列的产品，包括二手莱宝分子泵 全文