大神赐教！如何维修Edwards二手分子泵？

Leybold分子泵SOGEVAC系列SV200单级旋片真空泵，工作原理是滑片泵，高真空度，是废气收集真空泵选择之一。 全文

分子泵的维修费用取决于其损坏的程度和型号。一般来说，如果只是小故障或轻微磨损，修理的费用可能在几百元左右；但如果出现严重问题或者需要更换部件，价格可能会更高。此外，不同地区的收费标准可能有所不同，因此.. 全文

爱德华分子泵控制器在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解.. 全文

Edwards真空分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏 全文