如何维修德国Leybold分子泵？ 感谢回答

封式旋片泵（即油泵）极限真空能到达10-3mbar，但油泵容易产生返油倒吸的问题，如果没有控制返流的安全阀，或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染，从而导致分子泵提供.. 全文

Edwards进口分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏 全文

Edwards真空分子泵轴承为什么会烧毁 原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘 解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘 全文

爱德华分子泵控制器使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？ 原因：冷却不良，负载太大 解决方法：检查冷却系统，检查真空系统 全文