爱德华分子泵维修维修有哪些是需要注意的？ 知道的请回答

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仪器构造实用 一机两用：Edwards真空分子泵控制系统除了作为真空控制系统使用外，还可以用作活动平台，用于放置电炉及其它设备，十分方便。 全文

封式旋片泵（即油泵）极限真空能到达10-3mbar，但油泵容易产生返油倒吸的问题，如果没有控制返流的安全阀，或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染，从而导致分子泵提供.. 全文

德国Leybold分子泵SOGEVAC系列SV200单级旋片真空泵，工作原理是滑片泵，高真空度，是废气收集真空泵选择之一。 全文