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纯度是高纯氢气的一个重要技术参数，按氮气的纯度分为工业用氮气、纯氮和高纯氮三级，它们的纯度分别为99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。纯.. 全文
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二氧化碳是一种气体，但它也有液态和固态两种形态。就像水——当水被加热达到沸点（100℃）时，它就会气化成为水蒸气，水蒸气是水的气体形态；当水的温度降低到冰点（0℃）时，水就会凝结成冰，冰是水的固态。 全文
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高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。超高纯氦气 全文
