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高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。氧的主要用途源于它能维持生命和助燃性质；在冶金工业中有广泛应用。超高纯氦气
纯度是超高纯氦气的一个重要技术参数，按氮气的纯度分为工业用氮气、纯氮和高纯氮三级，它们的纯度分别为99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。纯氮N2≥99.99化工、治金、电子工业高纯氮N2≥99.999科研、电子、机械行业、色谱仪载气所以用于制冷剂的话，没什么区别。
从高纯，超高纯氦气供应商购买氮气的气瓶必须由质量检验单位定期进行技术检查，严禁使用安全阀超期的气瓶。充装一般气体的气瓶每三年检查一次，如在使用中发生有严重腐蚀或严重损伤的，应提前进行检验。.

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高纯甲烷：甲烷纯度99.999%,氧（氩）含量1ppm,氮含量5ppm,其他总碳含量1ppm,水分含量1ppm。纯甲烷：符合标准HG/T 3633-1999，甲烷纯度99.99%,,氧（氩）含量10.. 全文
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在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气.. 全文
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