维修Edwards真空分子泵维修要注意什么？ 帮忙解答一下

ULVAC爱发科分子泵的保养与维修对于确保其稳定运行和延长使用寿命至关重要。以下是一些关键的保养与维修建议： 1.定期检查与维护：应定期对分子泵的所有连接处进行检查，包括电源、气管等确保它们.. 全文

Edwards进口分子泵每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏。 全文

真空度很好的情况下，Edwards真空分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池 全文

Edwards真空分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响？应如何解决？ 原因：应是偶尔发生的事情，可能是平衡中遗漏的平衡钉，对分子泵没有影响。 解决方式：应是偶.. 全文