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Edwards二手分子泵如何维修？求解答

Edwards二手分子泵如何维修？求解答
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  • 真空度很好的情况下，Edwards二手分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池
  • Edwards二手分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不够 解决方法：检查系统
  • Edwards二手分子泵为何会发生半边热，半边冷的现象？ 原因：附近有光照或其他热源 解决方法：避免光照或热源
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