帮个忙，维修Edwards真空分子泵维修要注意什么？

Edwards二手分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？ 原因：负载太大，系统真空度不.. 全文

磁悬浮分子泵（MaglevTurboMolecularPump,MaglevTMP）作为真空技术领域的设备，凭借其无接触磨损、超高转速、低振动、长寿命、免维护（无油）等显著优势，广泛应用于半导体制造、.. 全文

爱德华分子泵控制器使用中发现油发黑，请问油为什么发黑？或者多长时间油才会变黑？ 原因：冷却不良，负载太大 解决方法：检查冷却系统，检查真空系统 全文

真空度很好的情况下，Edwards进口分子泵油为何会返到前级管道？ 原因：油池裂开或密封不良 解决方法：检查油池 全文