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Edwards进口分子泵维修要注意什么内容？教期待大神解答

Edwards进口分子泵维修要注意什么内容？教期待大神解答
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  • 检查真空表是不是出现了问题，Edwards进口分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏，机械泵是否旋转，系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。
  • Edwards进口分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵
  • 当Edwards进口分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵。
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