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广州潽拓光电科技有限公司——ULVAC高真空分子泵抽真空无力ULVAC氦质谱检漏仪维修

维修爱发科分子泵系列：

ULVAC氦质谱检漏仪：

HELIOT 711、HELIOT 712、HELIOT 714、HELIOT ZERO

ULVAC真空泵油:

R-4、R-7、R-80、R-7000、R-7500、R-8000

分子泵叶片破碎的原因：

答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：

①、误操作;比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。

②、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。ULVAC氦质谱检漏仪维修

3、分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常，之后又下降至一定频率，再恢复到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

原因：负载太大，系统真空度不够

解决方法：检查系统

4、分子泵轴承为什么会烧毁

原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘

解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘

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在多数的水环式真空泵中，其工作温度约为15-20℃，它取决于所补充水的温度。实际上，水环泵的极限压力并不十分重要，因为不同的液体，在压力低于50-60hPa时，会发生气蚀现象，泵的部件会遭到损坏。当泵接近极限压力时，抽速很低，泵入口处的水开始沸腾。当转至泵的出口时，形成的气泡开始po裂。这样就会产生很大的噪声，同时泵的驱动轮和泵腔等部件被逐渐破坏。这种现象通常称作气蚀现象。一旦气蚀现象发生，就要通过小阀引入少量的新鲜空气。振动篦板在这种情况下，在入口官道上开个小孔，以便定量地加入些新鲜的其他，如果使用气体喷射器，气蚀现象就不会产生了。

双级旋片式真空泵的主要用途如下：

1、双级旋片式真空泵是抽除气体的基本设备之一，它可单独使用，也可与增压泵、扩散泵、分子泵等超高真空泵连接在一起作为前级泵使用，广泛用于电子器件制造、真空干燥、过滤、浸渍、涂膜、焊接、冶炼及实验室装备等。

2、双级旋片式真空泵进气口连续敝通大气运转不得超过3分钟。爱发科真空泵维修价格

3、双级旋片式真空泵在环境温度5℃～40℃范围内，进气口压强小于10托的条件下，允许长期运转，被抽气体相对温度大于90％时，应开气镇阀

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螺杆泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）。ulvac真空泵维修

真空常见故障、产生原因

1 .油量不足.油脏或乳化.泵油牌号不符或混油，夏季使用黏度过小的油 .漏气.配合间隙过大( 或有磨损和划痕) .油路不通，泵腔内没有保持适当的油量

2.泵运转中温升太高，使泵油浓度变稀，密封性变差，油蒸气压增大 .泵中隔板压入时过盈量过大，使泵腔鼓起变形，漏气.排气阀片损坏密封不好 .装配不当，端盖板螺钉松紧不一，ULVAC高真空分子泵抽真空无力，转子轴心位移 .旋片活动不好 .被抽气体温度过高。ulvac真空泵维修

3 .进气管内的过滤网被堵 .气镇阀垫圈损坏或没拧紧 加油到油标中心换油检查轴封、排气阀、端盖、进气口等部位的密封情况，并修换密封圈检查泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，清除杂物、杂质，按精度要求修磨调节油路的进油量， 清洗时用高压空气吹通油孔，把沉积物清洗干净通冷却水降温， 检查配合间隙按精度要求进行修理修整泵腔或换泵、报废修换阀片重新装配修磨转子和旋片的配合，调换弹簧热气体被抽入泵之前加冷却装置取出进气口过滤网清洗干净烘干后再装好换垫圈，拧紧气镇阀电动机超负荷运转，甚至转不动， 发生“ 卡死”现象 。

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