




氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器,它性能稳定,灵敏度高,是真空检漏技术中较成熟的设备,使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护,氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。氦质谱检漏设备因氦比空气轻,因此要注意检漏的顺序,检查顺序应依照由下而上, 由近而远的顺序进行。对检漏方法的要求:稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度;所用“示踪气体”在空气中含量低,,不腐蚀零件;

氦质谱检漏仪使用氦气作为示踪气体,氦是单原子稀有气体分子,在空气中的含量(5.2ppm), 无色、无味,常温下为气态的惰性气体,极不活泼,既不能燃烧,也不助燃,化学性能稳定。在检测器件的密封性能时,遇到器件大漏时,有大量的氦气进入氦质谱检漏仪,短时间内仪器内部氦气难以清除,造成仪器的本底升高,仪器的检测灵敏度降低,影响仪器的再次检测精度。

对于分装或总装,采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体,雪融机整机检漏,利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。对于体积较大的工件,采用背压发,按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦(含量30%)-氮混合气体,然后放入检漏罐中。漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。


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