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压缩比 涡轮分子泵的压缩比是指前级管道(排气口处)的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同,泵对各种气体的压缩比也不同。气体分子量M 的平方根与压缩比K 的关系如图6所示,泵对氢的压缩比很小,一般为1000 左右,这样一来如果前级管道中氢的压力为1 10- 7 Torr(13.33 Pa),那么进气口处氢的压力则小1000倍,即为1 10- 10 Torr(13.33 nPa)。

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分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?
原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。
解决方式:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。

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分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,是多少?
答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要zhuan用仪器和特定的测试环境

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涡旋式真空泵由涡旋式压缩机演变而来,机构原理zui早由法国人Cruex于1905年发明,瓦里安真空分子泵权限调试,涡旋真空泵的工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘副啮合安装组成。

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