广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦
VARIAN TV301 NAV 具有涡轮分子泵的集成系统,安捷伦Turbo-V1001r,具有相关的控制器,适用于高真空和超高真空应用。
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电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,安捷伦Turbo-V6000,启动速度慢,抽气时间长,韶关安捷伦,电流高,分子泵温度升高等。
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美国Agilent TwisTorr 304 FS高真空涡轮分子泵
高真空涡轮分子泵内有一个高速旋转(每分钟几万转)的转子,转子上有涡轮和拖动级进行抽气。随着技术的不断进步,市场不仅对泵性能的要求越来越高,更对其小型化、高可靠性、维护方便性及灵活易用性等都提出了更高的要求通常的分子泵拖动级采用圆柱螺旋形的沟槽,而安捷伦 TwisTorr 技术把拖动级放在了薄薄的圆盘上,这样就可以在有限的空间内集成多对拖动级转子盘和定子盘,节省空间的同时又能提率和性能。
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Agilent SH-110全密封干式涡旋泵具有业内的真空获得性能,结构紧凑,安捷伦Turbo-V1K-G,能够轻易地实现与现有、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110升1分钟的抽速(60Hz电源条件下),可获得50mTorr(约67Pa)的极限真空,即使单独作为粗真空获得设备也是理想的选择。SH-110涡旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多种标准。
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