洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。
单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。
非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理,稀释效果越显著,洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数,是主要关注的气流测试项目。
洁净室设计参数:
●换气次数:
十万级10-15次/小时;
万级15-25次/小时;
千级50-52次/小时;
百级操作台断面风速0.25-0.35m/s
●压差:主车间对相邻房间≥5Pa。
●温度:冬季>16℃±2℃;夏季<26℃±2℃;
●相对湿度:45-65%(RH);噪声≤65dB(A);新风补充量:总送风量的20%-30%;
●照度:≥300Lux。
无尘车间可以分为以下几个级别:
1级这个级别的洁净室主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的要求为亚微米。
10级这个级别的洁净室主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
100级很多人认为,这一级无尘车间是常用因而是重要的无尘车间,人们常常错误地将100级无尘车间称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于工业的无菌制造工艺等,这一无尘车间大量应用于,植如体内物品的制造,手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对特别敏感的的隔离。
1000级这个级别的洁净室主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。
10000级万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。100000级十万级洁净室用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,电池隔膜净化车间施工,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,工业也常常使用这一级无尘车间。
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