关于实验室无尘车间的分类:层流式——层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用,一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风的,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,三类器械净化车间施工,不易为作业状态或作业人员所影响。复合式——复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
净化车间的空气净化系统要注意什么?山东净化车间空气洁净系统由风淋室、气闸室、传递窗、层流罩、洁净工作台、FFU及生物安全柜等设备组成,其安装要求应按设备技术文件进行;安装设备的地面应平整,环境清洁,设备安装前应擦去内外表面的尘土和油污,设备经检验合格后应立即安装,尽快完工;设备在安装就位后应保持其纵轴垂直、横轴水平并有防移位措施,机械式余压阀的安装,阀体、阀板的转轴均应水平,允许偏差为2/1000,余压阀的安装位置应在室内气流的下风侧,并不应在工作面高度范围内。
无尘车间的特殊优势。无尘车间可以将洁净气流尽快的分布到整个洁净区,然后以此来冲淡室内污染源塞不的尘、菌以及对空气的污染,从而达到生产环境所要求的洁净度。不但如此,无尘车间还能将污染源尽快的在室内排出,减少尘、菌在室内的停留时间,缩小不洁物质跟产品接触的几率。无尘车间是指控制产品(如硅片)所暴露的大气的清洁度和温度湿度,以便产品能够在良好的环境中生产和制造。这个环境空间的设计和建造过程可以称为净化工程。
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