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北京科仪创新真空技术有限公司
主营：“真空箱式氦检漏设备”,“LNG低温容器抽真空设备”
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质量流量计概述
质量流量计是一种用于测量流体质量的仪表，气体质量流量控制器，相较于传统的体积流量计具有更高的精度和稳定性。它基于热传导或科里奥利力等原理来工作：在管道中安装一个传感器阵列或多个检测点；当流体流经这些点时会产生相应的电信号变化或者机械振动效应；通过处理和分析这些信号可以准确地计算出流过传感器的质量值以及流速、密度等相关参数信息从而得到准确的测量结果且不受温度压力等因素的影响。
质量流量计产品特点
产品特点，本产品集成触摸显示屏，可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等，气体质量流量控制器厂家，操作方便，气体质量流量控制器厂家，实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
质量流量计概述
在气体流量的测量应用中，质量流量计是一种常见的测量仪器。质量流量计(MFM，Mass FIow Meter)，是一种准确测量气体流量的仪表。质量流量控制器(MFC:Mass Flow Controller)集成 MFM 及控制阀门，不但具有质量流量计的功能，还能自动控制气体流量，气体质量流量控制器原理，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器作为稳流装置，可以手动设定或与计算机连接进行的气体稳流自动控制。
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第10年
