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科创真空-氦质谱检漏仪厂家-便携式氦质谱检漏仪厂家

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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司

氦质谱检漏仪

吸法

吸法是先向压力容器装置中充入一个以上的大气压的氦气或氦气与其他气体的混合气,从压力容器装置的外部检测从漏孔泄漏到外部的氦气,进而发现漏孔。

吸法(正压法)检漏,氦质谱检漏仪厂家,用纯氦检时,可使用氦气回收装置,重复使用,以降低使用成本。或使用浓度不低于5~10%的氦气混合气体,使用完后,可直接向大气中排放,要注意周围环境中的氦气的浓度,注意周围环境中空气的流动情况,因为这会影响到吸法的检测精度。吸法(正压法)检漏与卤素检漏极为相似,但应注意的是容器内所充的示踪气体是不同的,即使有相同的漏率值,其意义也是不同的,能够区分这一点很重要。除实验测试比较法以外另有计算式Q1η1= Q2η2(Q为气体的泄漏流量,η为气体的粘度系数),Q1M11/2= Q2M21/2(M为气体的分子量)。吸法检漏中应注意以下几个问题:

1、灵敏度受连接管道的流导的限制。

2、初次检漏时、被检件体内切勿充入过高压力的氦气。因为如果有漏孔,氦气会从被检件物中漏出,造成较大浪费,而且氦气到处扩散,给检漏仪带来非常大的干扰。因此,一般应先向被检件物内充以低压力、低浓度的氦气,再充入高压力,高浓度的氦气,对小漏孔进行检漏。如果存在较大漏孔时,可对检件体行加压水中发泡法检大漏,这样既可以减少氦气的浪费,因为氦气较贵(不同浓度的价格也不同),小型氦质谱检漏仪厂家,又可避免对氦检漏仪的氦的损害。

检漏仪的故障和处理

1 内部的泄漏

当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点,更换密封件。

2 本底信号不稳定

1)本底信号过高有可能是环境本底被污染,国产氦质谱检漏仪厂家,注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风,降低环境本底。

2)本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时,质谱室极易被污染,需返厂进行清洗,本底信号不稳定,检查电源电压是否稳定,检漏仪应有可靠的接地。

3)本底信号不稳定,检查泵油是否浑浊,被污染。

氦质谱检漏仪的结构和工作原理

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1 优于200 Pa 时,打开入口阀1、2,便携式氦质谱检漏仪厂家,关闭抽空阀,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20 Pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。

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