广东潽拓光电-广州市阿尔卡特涡轮分子真空泵

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单级旋片式真空泵的真空度只能到达1*10-2托，不能到达再高的原因是：

1、泵的布局上存在“有害空间”，空间中的气体是无法排除的。当旋片转过排气口后，这一有些气体又被紧缩，阿尔卡特涡轮分子真空泵保养维修，经过转子与泵腔间的缝隙又回到吸气空间，广州市阿尔卡特涡轮分子真空泵，所以，“有害空间”越小，泵极限真空度越高。

2、泵腔被旋片分隔变成两有些:排气空间与吸气空问，两者间存在着必定的压强差。当排气空间的气体被紧缩得很小时，压弧很高，会经过各种可能的路径打破到吸气空间去，使真空度下降。真空泵养护维修

3、泵油在泵体内循环活动进程中会溶解进很多气体和蒸气。在吸气空间，因为压强较低，溶解的气体又会跑出来，使泵的真空度不易进步。

为了提高泵的极限真空度，除了提高泵体、转子、旋片的加工精度，尽量削减安装空隙和有害空间以外，真空可以认为zui有用的办法是将两只单级泵串接起来，组合成双级泵。这样，极限真空度将提高，可达10-4托(进口真空泵可到达10-5托)。真空泵养护维修

涡轮分子泵主要由一个外壳与转子和定子组成。旋转圆盘和固定圆盘交叉排列，一个转子盘和一个定子盘组成一个泵级。转子转动得越快，抽吸效果就越显著。现代泵的转速已高达90 000 min-1，圆周速度为 400 m/s。而在1958年Willi Becker的自制样机转速就能达到142 m/s。真空泵养护维修

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旋片泵的旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，阿尔卡特涡轮分子真空泵维修保养，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀)，气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。

当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，*后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级)，由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。真空泵维修维护

真空机组工作原理：

真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。真空泵维修维护

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一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组，这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制，即前级高于某一压力，泵就不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵维修 ，而当前级泵达到这一临界压力时，往往抽速会减小，这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量，这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求，必然会引起真空机组不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵维修

转子的油膜冷却:这种冷却方法是在罗茨真空泵入口处连接一个输油管，阿尔卡特涡轮分子真空泵维修，用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。油经过滤器器、冷却器，通过密封良好的油泵，再经过办输油管将油送到泵的入口。油滴到转子上之后，随着转子的旋转而均面在转了子的表面上。ALCATEL 5011分子泵维修

这不仅将转子的热量带走，同时在两个转子表面上形成油膜，防止气体的逆流，而且还能将转子表面上依附的微细尘埃带走。在泵的出口处设有油槽，收集废油，经过过滤，冷却后重新循环使用。此种方法效果良好。ALCATEL 5011分子泵维修 ，但由于泵内有油，失去了罗茨泵无油蒸汽污染真空系统的特点。再则油具有一定的粘度，对高速旋转的罗茨泵转子增加了不少的摩擦力，当然使泵的功率消耗增加。ALCATEL 5011分子泵维修

所使用的油，要求饱和蒸汽压应尽量代。

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