涡旋式真空泵
涡旋式真空泵是新一代的真空泵。它具有很高的压缩比,涡旋真空泵多少钱,在较宽的压力范围内有稳定的抽速,涡旋真空泵价格,涡旋式真空泵是两条渐开线螺旋曲线盘构成,即一个静涡旋盘和一个动涡旋盘。动涡旋盘作偏心安装,涡旋真空泵生产厂家,静涡旋盘与动涡旋盘便形成月芽形腔体。随着动涡旋盘转动,月芽形腔体不断向里旋转压缩,然后从中间排出至出气口。动涡旋盘连续运转,气体不断从进气口吸入、压缩,由出气口排出,形成真空。
涡旋真空泵的应用领域
涡旋泵已被广泛应用于半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业:材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医院设备行业:透析机、生物制备与药品制备。包装行业:食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统很好的配置。
涡旋真空泵的结构特点
涡旋真空泵主要由5 个部件组成:
(1)动静涡旋盘副与基座;一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错, 两者之间保证180°相位差组成的一对涡旋盘副机构。
(2)曲轴:保证动涡旋盘绕静涡旋盘转动的偏心机构。
(3)密封件:保证动、静盘的端面齿顶密封等的密封装置。
(4) 防自转机构:保证动、静盘180°相位差的机构。
(5)电机:输出约1500r/min的动力机构。
它的主要运动件只有一个动涡旋盘,因而动力传递简单,相同尺寸下运动半径小、零部件少、结构简单紧凑、整机尺寸小,动、静涡旋盘之间、动盘与泵腔之间间隙小,泵内运动件与泵腔无摩擦,所以几乎无磨损,运行平稳,消耗功率小,气体流动损失小,工作可靠性高、寿命长,涡旋真空泵,易于维修,维修费用低。采用空气冷却,无需水冷。
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