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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面:
(1)抽速与转速的关系抽速与转速之间的关系大致为S(4-67)。其中:g是由几何形状决定的常数;u是活动刀片的转速。随着速度的增加,泵送速度比直线略慢。这可以通过在抽速较高时对进气管电导率的限制来解释。根据(4-66),随着S1的增加,S将偏离直线。
(2)泵送速度与入口压力之间的关系在分子流的压力范围内,分子泵的泵送速度几乎没有变化。因为分子电导C与分子流动过程中的压力无关;根据公式(4-65),S1仅确定叶片形状,速度和气体类型,并且与压力无关。因此,根据公式(4-66),实际抽速与压力无关。但是,当增加压力以不满足分子流动条件(大约2×101Pa)时,由于大多数分子无法直接与叶片碰撞,因此泵速会迅速降低。如图4-62的右侧所示,曲线1、2和3对应于压缩比与不同前级泵
(3)的速度和相对分子质量之间的关系。压缩比与速度的平方根和相对分子质量成指数关系(G(4-68在公式中,G是由几何形状确定的参数。测量结果与公式基本一致。图4-63显示压缩比,其中:p代表前级泵端口的压力和力,代表分子,泵的入口压力,爱发科涡轮分子泵维修价格,在相同速度下,大的气体分子具有大的压缩比,高的极限真空,轻质气体成分,压缩比小,极限真空低,即轻质分子主要处于分子泵的极限真空中;除去氢,爱发科涡轮分子泵维修公司,氦等轻质分子的能力较弱。重量具有较高的压缩比,这是涡轮分子泵可用于获得清洁真空的物理基础
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在润滑方面,配备一种新型润滑剂,具备更高的抗老化性、更优化的润滑性能和更强的耐热性,进一步提升真空泵组的安全性能,而且各款泵均可免维护运行5年。涡轮分子泵应用于镀膜机涡轮分子泵应用于镀膜生产线,客户某透明玻璃投射电容技术元件及模组生厂商,产品玻璃触控模组,广泛应用于智能手机中.爱发科涡轮分子泵1500U配置于该企业镀膜生产线中.
涡轮分子泵1500U技术参数
压缩比
Ar:>1X108
H2:6X103
He:2X105
N2:>1X108
抽速
Ar:1350l/s
H2:1150l/s
He:1350l/s
N2:1400l/s
进气口
DN250-ISO-K
极限真空重量
29KG
涡轮分子泵1500U抽速:涡轮分子泵1500对各种气体均有高抽吸能力,高工艺适用性,防止进入颗粒.集成驱动电路,爱发科涡轮分子泵维修报价,适用于工业环境,通过保护等级IP54.带有气体密封阀24VDC的集成型气体密封系统.涡轮分子泵1500搭配控制器TC1200,黄埔区爱发科涡轮分子泵维修,通讯接口RS-485,远程遥控(Profibus/DeviceNet型号供选择),多种配件供客户选择.
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为了确认磁场对分子泵工作的影响,德国卡尔斯鲁厄理工学院()设计并执行了下面的测试:测试条件和装置被测分子泵的型号为TwisTorr304FSCFF6,使用一对亥姆霍兹线圈(直径120厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。使用20℃的冷却水对分子泵持续进行冷却;分子泵的控制器会自动调整电机电流,保持转子以恒定转速运行。
使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的PT100热电阻测量定子的温度。测试过程试验期间,涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为1mT,泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度;然后关闭磁场,再运行12个小时以使转子降温;然后再分别把磁场设置为2mT,按照前面的步骤继续进行测试,直至磁场增加到7mT。
当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为7mT时,平衡温度上升到100摄氏度左右(分子泵的很大允许温度为120度)。
另外,使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,一系列的对比测试表明,分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低(5mT时,低大约40度)。
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