洁净室应使用不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉和容易清洁并具有防火功能的材料,不能使用木材和石膏板作表面装饰材料。空调保温材料也必须符合国家有关规定达到耐腐蚀、不产尘、不附着灰尘和防火等要求。洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到 人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。洁净室和空调送回风管道应在安装过滤器前达到清洁要求,净化空调系统必须连续空吹12小时以上,空吹后再对送回风管和空调机组内部进行清扫和擦洗干净。
洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到 人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情,但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。随着净化技术的发展,建设净化车间的技术含量也越来越高,洁净工程净化室,非人士不能也。除了在生产领域,净化工程技术还会逐渐应用于家庭、公共场合,为人们提供更洁净的生活空间。净化车间根据区域环境、净化程度等因素,为若干等级,常用的有和国内区域行业标准。
现在我们国家的经济科技在发展,同时带动了社会各行各业在告诉发展中。以净化工程这个行业为例,在目前呈现一片喜人的发展态势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
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