显影是在溶剂中稀释未连接的 SU-8 光刻胶的步骤。在这一步,设计在基板上显露出来。SU-8 的开发要归功于 SU-8 开发人员。它是Microchem的产品,主要由PGMEA(bing二醇单jia醚乙suan酯)组成,但由于乳酸乙酯或二bing酮醇,PDMS芯片模具哪家好,您也可以开发SU-8。将您的晶圆放入装有 50mL 显影液的结晶器中。SU-8 开发的时间取决于 1 分钟到 15 分钟以上的层厚度。在开发过程中保持良好的搅拌,以达到zui佳的开发效果。用异bing醇冲洗晶圆。如果仍有一些白色痕迹,请在 1-2 分钟内再次显影。如果再次残留,则更换溶液并使用 50mL 新显影剂 1-2 分钟。擦干的晶圆。
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