喷淋式兆声喷头产品概述
兆声清洗是利用兆赫兹级别的超高频超声波能量去进行基材表面亚微米级颗粒的去除以及化学反应。相比于低频超声波空化效应,兆声波空化效应可清楚更小的颗粒并且大幅降低对基材的损伤。东方金荣提供多种类型的兆声系统以用于CMP化学机械抛光、键合前清洗、掩膜清洗、显影、去胶、金属剥离、湿法刻蚀等多种领域。 Siansonic(东方金荣)喷淋式兆声清洗喷头的特点及优势单点喷淋式兆声清洗,相比传统槽式清洗,可解决清洗液二次污染问题。极低的超声空化效应,不会对器件表面造成损伤超高清洗精度,晶圆清洗价格,可去除物体表面0.2微米的污渍颗粒非金属腐材质,适应各种酸碱及石英或蓝宝石匹配层技术,无杂质脱落到器件上的风险的换能器贴合技术,更高的稳定性和耐久性
第三代半导体技术的兆声发生器,实现数字化高频大功率驱动。
超声波清洗的构成
超声波清洗机由以下几部分组成:1)超声波系统:包括换能器和超声波发生器。(1)换能器:换能器采用特种耐高温、耐振动、高粘度的树脂胶辅以特殊的方法加以固定,脱落,且可耐受100℃~150℃的高温。(2)超声波发生器:大功率超声波发生器可由超音频IGBT电力电子器件为主要元件构成,该种超声波发生器电路,结构完整,辅以灵敏可靠的集成控制系统。各种超声波发生器可独立工作,亦可多组并联使用,以完成大规模清洗工程。2)加热及温度控制系统。加热器通常采用不锈钢管材制成,可耐酸碱。加热的目的是将清洗剂加热以增加清洗机的洗涤效果。温度自动控制,晶圆清洗哪家好,可在适当范围内随意调整。3)清洗槽:清洗槽一般采用不锈钢经弧焊焊制而成,晶圆清洗报价,槽体上设置有排渣检修口、保温隔声层等,要保证水位至少应高出换能器盒200 mm以上。
贴合式兆声清洗
头贴近被清洗物,清洗效率更大程度减少清洗液使用量清洗精度高,可去除0.2微米的污渍颗粒超低的声空化效应,不损伤器件表面石英或蓝宝石耦合技术,黑龙江晶圆清洗,无杂质脱落风险腐性,可耐各种酸碱溶液及。
兆声清洗利用兆赫兹级别的超高频超声波能量推动基材表面亚微米级颗粒的去除以及化学反应。相比于低频超声波空化效应,兆声波空化效应可清除更小的颗粒并且大幅降低对基材的损伤。
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