对于分装或总装,采用吸入法。被检工件冲入氦-氮混合气体,利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。对于体积较大的工件,采用背压发,按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦(含量30%)-氮混合气体,然后放入检漏罐中。漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。
航天技术的不断发展, 泄漏问题已经成为航天产品设计制造中必须考虑的关键因素,越来越多的收到各方关注,相关电子元器件漏率检测已经引起科研人员的高度重视,目前应用检漏技术的主要是为密封继电器、集成电路外壳。.利用氢质谱检漏仪可以方便地对密封继电器作漏率测定。针对不同的产品,采用合适的检漏方法。目前密封继电器的漏率检测主要是GJB360A-96的112实验程序。
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。检漏仪自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,汽车传感器检漏,可外接打印机。氦质谱检漏仪由微机控制,菜单的选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。检漏仪高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。
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