原子力显微镜是一种扫描探针显微镜(SPM),其中探针跟随材料表面,以检测探针和材料之间的原子力,从而生成材料表面的图像。与光学显微镜相比,扫描探针显微镜具有极高的空间分辨率,能够在原子水平上检查表面轮廓。此外,原子力显微镜是一种扫描探针显微镜,能够测量绝缘材料。
通过将SLD发出的光发射到带有探针的悬臂梁的后侧,并使用位置传感器检查反射的激光,850SLD,可以更好的地检查探针的移动,从而以纳米级的精度观察物质表面。
硅基光子集成技术中比较难的是光源的集成,由于硅是间接带隙的材料,硅材料本身不易发光,需要进行掺杂其他材料或者将三五族半导体材料做成的集成光源与硅光芯片进行封装后集成。所以现在常用的光源都是独立的,SLD (Superluminescent l diode)光源(超辐射发光二极管)是一种以内部单程增益为特征的光发l射器件。它的光学特性介于半导体激光器和发光二极管之间。在SLD中不存在光的反馈谐振,输出的是非相干光。
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