排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等,净化车间设计时,要根据实际情况选择。洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中,电子无尘车间,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
洁净室内的嵌壁器械柜与墙体之间、壁板上安装的插座、开关、照明箱体及灯带、观片灯等都需要用密封胶进行密封,且器械柜中的各种管道和箱体之间也都必须采用可靠和有效的密封措施。设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近,也不能相差太大。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情,但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。
洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。洁净室内的嵌壁器械柜与墙体之间、壁板上安装的插座、开关、照明箱体及灯带、观片灯等都需要用密封胶进行密封,且器械柜中的各种管道和箱体之间也都必须采用可靠和有效的密封措施。而随着净化技术的发展,建设净化车间的技术含量也越来越高,非人士不能也。除了在生产领域,净化工程技术还会逐渐应用于家庭、公共场合,为人们提供更洁净的生活空间
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