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广州潽拓光电——

      分子泵涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。卧式涡轮分子泵，这种结构的分子泵是双轴流的，吸气口在两组抽气单元的中央，气体吸入后，分别被左右两侧的叶列组合抽走。立式涡轮分子泵，泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大，通常在 lmm 左右，因此泵工作时很安全。

涡轮分子泵特点： 1、清洁，无油蒸汽返流； 2、使用方便； 3气体输送能力强； 4、适于超高真空应用； 5、高压力下性能良好； 6、循环的时间短；； 7、正常使用时间长； 8、设备费用高； 9、对颗粒物或沉积物敏感； 10、噪音与振动； 11、破碎问题； 12、暴露大气易引起事故； 综上所述，涡轮分子泵的特点很多，但是随着我国机械、、电子、化工等领域的高速发展，涡轮分子泵想要扩大它的市场占有率，其需要克服的难题还有很多。这些不仅仅需要人士的专研，同时也需要各界的共同努力，对涡轮分子泵特点的进一步研究，相信在未来是个值得突破的课题。

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莱宝Oerlikon lerbold Vacuum TURBOVAC TW290/20/20 UHV 涡轮增压真空分子泵+URBO.DRIVE TD400Q驱动电源模块

leybold TW290/20/20 UHV 是德国莱宝为质谱仪专门设计的一款分流泵，不同于leybold TW220/15，leybold TW220/15速为能

同时抽取两个腔体的真空，对应的流量为220L/s，150L/s，leybold tw 290/20/20-uhv Turbo Pump能同时出去三个腔体的真空，

leybold TW290/20/20 UHV Turbo Pump对应的三个腔体的真空流量分贝为290L/min，20L/min，20L/min

Oerlikon lerbold Vacuum TURBOVAC TW290/20/20 UHV 800160v0021 in 17V ac 5A 1000Hz

Out 60000min-1，Made in Germany，Leybold tw 290/20/20-uhv Turbo Pump 对应的转速为60000转/分钟

leybold tw 290/20/20-uhv Turbo Pump

leybold Tw220-150S对应的控制器为leybold TDS，leybold TDS300或leybold TD400

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旋片真空泵的清洗工艺

为了防止系统中任何容易大量放气的物质并去除高蒸气压的物质，必须进行的处理。不同的真空元件和不同的材料都有自己特殊的清洁方法，常见的真空部件清洁方法如下。

旋片真空泵的清洗

为了清洁旋片真空泵而没有明显的故障，泵一般不拆卸，只有旧油和污垢从排油孔排出，新的真空泵油（用于清洗）从带漏斗的进气口。手动缓慢旋转泵轮数次后，释放油。通过重复相同的方法一次或两次，新油可以正式使用。没有必要清洁新的旋片真空泵，但有必要检查管道入口是否干净，没有异物，并擦去表面腻子。

玻璃塞在使用中清洁

在使用玻璃塞一段时间后，它经常泄漏并且难以旋转。此时，棉花可以用汽you，三氯乙xi或四氯化tan擦洗，以去除油脂。溶ji完全蒸发后，使用适当类型的真空油脂密封。

清洁金属部件

一般旋片真空泵小金属部件，用有机溶ji除油，然后晾干。如果对金属部件和材料有特殊的清洁要求，此时的清洁方法可根据具体要求进行处理，一般原则是尽量减少天然qi和污染源。