真空设备检漏与维修
为什么要检漏
泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
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氢气干燥器系统
氢气干燥器用于干燥发电机内的氢气,以防机内水分过高时,对发电机的高压绝缘件或高应力金属结构件产生危害。
干燥器由二个干燥塔组成,塔内装填有干燥剂和加热元件,一个工作时,另一个加热再生。每个塔内都装有一台循环风机,氢燃料电池真空箱氦检漏系统,连续工作。工作塔内的风机用以加大气体循环量并使气体在干燥剂内分布均匀;再生塔内的风机用以循环再生气体,迫使再生气体经过冷凝器、气水分离器等,使干燥剂内吸附的水分分离出来。氢气干燥器的工作和再生过程由内建PLC控制,完全自动进行。由于是闭式循环,所以不消耗氢气,也不会引入空气。为提高可靠性,干燥器从氢气中分离出出来的水分需人工排放。
氢气
氢气是性气体。在密闭容器中,当氢气与空气混合,氢的含量为4%~75%,即形成炸的混合气体。我国发电机运行规程规定:“一般要求发电机内氢气纯度保持在96%以上。低于此值时,应进行排污”
大容量氢冷发电机内要求保持高纯度的氧气,其主要目的是提高发电的效率,氢气发动机真空箱氦检漏系统,从经济方面考虑。因为氢气混入空气或纯度下降时,氦检漏系统,混合气体的密度随氢气纯度的下降而增大,使发电机的通风摩擦损耗也随着氢气纯度的下降而上升。据美国GE公司介绍,一台运行氢压为0.5MPa、容量为907MW的氢冷发电机,其氢气纯度从98%降到95%时,摩擦相和通风损耗大约增加32%,氢燃料电池氦检漏系统,即相当于损失685kW。一般情况下,当机壳内的氢气压力不变时,氢气纯度每降低1%,其通风摩擦损耗约增加11%。
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