半导体设备及材料需要检漏原因
1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱检漏后,在低漏率真空条件下,河北电力开关真空箱氦检漏仪,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。
4、芯片封装,电力开关真空箱氦检漏仪价格,一旦出现泄漏,芯片就会失效。
真空箱式氦检漏设备 充气柜氦检漏设备 环网柜检漏设备
以下内容由科创真空为您提供服务,希望对同行业的朋友有所帮助。
系统严格按照客户的要求设计制造,采用模块化的设计,充分考虑客户的检漏要求,同时也尽可能采用标准化的模块和部件,保证了系统的可靠性和可维护性。真空箱式氦检漏设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏SF6充注,首先对工件充注一定压强的干燥压缩空气或氮气,保压判大漏。大漏合格后,对工件和真空箱抽真空,被检工件充注氦气,电力开关真空箱氦检漏仪生产厂家,应用真空箱法进行氦质谱气密性检测;然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6。全电脑控制,全自动检测,电力开关真空箱氦检漏仪公司,排除操作者人为因素导致的误判。自动判断,声光提示。
本设备严格按照“用户技术要求”设计制造。
本设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏、SF6及氮气充注,首先对工件进行真空内外压强抽空,真空法判大漏。大漏合格后,对工件和真空箱抽真空,被检工件充注氦气,应用真空箱法进行氦质谱气密性微检漏检测;然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6及氮气工作气体。通过本装置判断出被检工件中的合格与不合格产品。
真空箱式氦检漏设备 充气柜氦检漏设备 环网柜检漏设备
主要技术参数及要求:
1、 真空箱尺寸:长00mm×宽00mm×高00 mm
充氦气压力:0.05Mpa(可调)
2、 工作节拍:<40分钟/件
3、 箱内接口数量:大件1个工件接口。小件2个工作接口。
4、 氦气回收率:95%-98%
5、 可检漏率:≤2.8×10-6Pa m3/S
(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时,应可检出)
6、 保压检测时间:(1-600S可调)
7、 工件真空≤1000Pa
8、真空箱检漏真空≤20 Pa
9、系统自身漏率:≤10-9 Pa m3/s
10、箱门开关方式:自动
真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也
就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。
2、氦的质量小(相对分子质量为4),易于穿过漏孔。这样,氦较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。
科创真空公司-河北电力开关真空箱氦检漏仪由北京科创鼎新真空技术有限公司提供。北京科创鼎新真空技术有限公司是从事“氦检漏设备,氦质谱检漏仪,LNG抽真空设备”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供更好的产品和服务。欢迎来电咨询!联系人:任经理。温馨提示:以上是关于河北电力开关真空箱氦检漏仪-科创真空公司的详细介绍,产品由北京科创鼎新真空技术有限公司为您提供,如果您对北京科创鼎新真空技术有限公司产品信息感兴趣可以联系供应商或者让供应商主动联系您 ,您也可以查看更多与行业专用设备相关的产品!
免责声明:以上信息由会员自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责,天助网对此不承担任何责任。天助网不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷, 纠纷由您自行协商解决。
风险提醒:本网站仅作为用户寻找交易对象,就货物和服务的交易进行协商,以及获取各类与贸易相关的服务信息的平台。为避免产生购买风险,建议您在购买相关产品前务必 确认供应商资质及产品质量。过低的价格、夸张的描述、私人银行账户等都有可能是虚假信息,请采购商谨慎对待,谨防欺诈,对于任何付款行为请您慎重抉择!如您遇到欺诈 等不诚信行为,请您立即与天助网联系,如查证属实,天助网会对该企业商铺做注销处理,但天助网不对您因此造成的损失承担责任!
联系:tousu@tz1288.com是处理侵权投诉的专用邮箱,在您的合法权益受到侵害时,欢迎您向该邮箱发送邮件,我们会在3个工作日内给您答复,感谢您对我们的关注与支持!