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分子泵无法启动,需要摇动叶片,叶片无法旋转,转子完全卡住。它需要由我公司进行修理刹车立即检查。
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分子泵有三种类型:牵引型分子泵、涡轮分子泵和复合型分子泵。按制造结构,可分为油润滑、脂润滑、磁悬浮(单磁永磁悬浮、全磁悬浮)。
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Shimadzu岛津TMP-203M/MC磁悬浮分子泵对应的控制器为:Shimadzu EI-D203M
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Shimadzu岛津TMP-203M/MC真空泵维修一般流程:
试机---确定问题点---拆泵---报价---维修及更换零件---调试安装---试机---客户验收
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