PDMS浇筑
1)将需要制备芯片的模具放置于在浇筑托盘里;
2)将脱泡后的PDMS缓慢浇筑到托盘内,厚度依据需求确认,PDMS脱泡器报价,静止10min;
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切割和孔穴制备
1)使用切割器,根据需要切割PDMS芯片,制备所需尺寸芯片。
2)使用打孔器,在芯片上制作所需的孔穴,用于流体进出口。
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等离子键合机操作与使用
手动操作
1.人机界面开启后,选择“手动画面”进入手动操作。
2.进入手动画面,关闭腔门会自动亮起“OK”
3.选择“真空泵开”,抽气3-5分钟(抽出腔体里面的湿气),然后“清洗开启”;大约等待时间1-2分钟左右,开始放电,进行辉光放电测试。
4.测试完成后先关闭清洗然后再关闭真空泵,PDMS脱泡器,下一步选择“平衡阀开启”,大约20秒腔门会自动打开,进入自动状态前,点击下一页进入主界面。
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