氦质谱检漏仪的基本原理与结构
氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以-定能量注入质分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,阀门氦检漏系统报价,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,避雷器氦检漏系统报价,因此被广泛采用,密封焊接件氦检漏系统报价,已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
氦检漏仪产品介绍
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用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口,性能。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s漏率显示的范围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s启动时间: ≤5min响应时间: <2S检漏口: 300Pa极限真空: 5×10-4Pa外形尺寸: 560(W)×420(D)×300(H)重量:46KG
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真空箱式氦检漏系统【工作环境】
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真空箱式氦检漏系统【工作环境】
工作环境:
1、长×宽×高(设备占地面积约):依据实物实际面积为准。
2、电源:380 V±38 V,50 Hz±0.5 Hz,约22KW;
3、压缩气源及减压器:0.6~0.8Mpa氮气或干燥清洁压缩空气;
4、待检工件要求清洁、干燥。
5、环境温度: 5 ℃ ~ 35 ℃;
6、相对湿度: ≤80%;
7、氦气源及减压器:氦气纯度为 99%。
8、设备应安装在通风良好的厂房内。
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