真空手套箱用磁控溅射离子镀技术为黄铜电镀亮铬的卫生洁具镀制ZrN膜。真空手套箱设备采用基材为锆的非平衡磁控溅射靶和中频电源,以及脉冲偏压电源。
(1)抽真空
5 X 10-3~6.6 x 10-13Pa本底真空。真空手套箱设备加热温度应在真空室器壁放气后又回升到100~150℃。
(2)轰击清洗
真空度:通人气真空度保持在2~3Pa。轰击电压:800~1000V,脉冲占空比20%。轰击时间:10min。
(3)手套箱
①沉积锆底层
真空度:通入气,真空度保持在s x l0-1Pa。靶电压:400—550V,靶功率15 N 30W/Crrr2。脉冲偏压:450~500V,占空比20 %。手套箱时间:5~10min。
②镀ZrN膜
真空度:通入氮气,真空度保持在(3~5) x 10-1Pa。靶电压:400~550V,靶电流随靶的面积增大而加大。脉冲偏压:150~200V,轮毂镀膜价格,占空比80 %。手套箱时间:20~30min。
由于真空手套箱磁控溅射技术中金属离化率低,不容易进行反应沉积,获得化合物膜层的工艺范围比较窄。真空手套箱设备可采用气体离子源将反应气体离化,轮毂贴电镀膜,扩大反应沉积的工艺范围。也可以采用柱状弧源产生的弧等离子体作为离化源,柱状弧源还是辅助手套箱源。
去毛刺
去毛刺的方法一般有手动清理、半自动轮刷清理以及玻璃珠喷砂处理三种。手动清理很适合硬质合金刀具毛刺的处理,这是由于其刃口处一般毛刺量较少,即使有也很硬,并且脆性大,用半自动轮刷清洗和玻璃珠喷砂处理时极易损伤刃口。半自动轮刷清理一般用于滚齿刀毛刺处理,是将刀具固定在低速转盘上,用不锈钢刷子压在刀齿上进行清理,但这种方法效率较低。玻璃珠喷砂去毛刺是目前涂层行业前处理应用广泛的方法,采用的设备一般为干式喷砂机,砂料为玻璃珠,经去毛刺后刃部刺状物消失、齿间洁净,汽车轮毂镀膜,有利于涂层材料颗粒的沉积。
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