高纯六氟化硫
用途:在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源,不会产生含碳副产品;
变压器中的绝缘介质;
金属冶炼中的保护气氛;
六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体
电子级高纯六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体,电子特种气体,广泛应用于微电子技术领域
作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂
作为大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂
肝i脏肿i瘤的超声造影检查的造影剂也作为六氟化硫的用途
影响标准气体量值稳定的因素:
1、气瓶和阀门材料 在气体充装前,特种气体公司, 要充分考虑到气体各组分与气瓶材料, 阀门及密封材料的相容性, 作为标准气体的包装容器, 碳钢,铝合金材料已被广泛应用。不同浓度,不同组分的标准气体是否和气瓶材料或阀门材料相容, 直接影响到标准气体的质量。如氟i化氢,氯i化氢,氟i气,氯i气, 氯甲i烷,氯乙i烷,CH3-Br等与铝产生反应, 不能用铝合金气瓶直接盛装。一定浓度的腐蚀性气体不能选择铜阀而需要选择不锈钢阀。
2、气瓶处理方法 用于盛装标准气体的气瓶, 内表面需进行常规处理和特殊处理, 以保证标准气体量值的稳定。处理方法包括加热除去气瓶内的水分,苏州工业园区特种气体, 抽真空置换除去空气及其他杂质气体, 内表面涂层使气瓶内表面减少与组份气体的物理吸附或化学反应;内表面钝化使气瓶内表面具有好的惰性, 有利于活泼性气体混合物的量值稳定。对于微量活泼性气体, 正确地选择气瓶处理方法是制备标准气体的关键。
3、组成混合气体各组份原料气的纯度及杂质。除了材料相容性和进行适当的气瓶处理外, 原材料的纯度是另一个值得注意的问题、如果原料中含有和配制组份相同的杂质, 杂质的准确定量就直接影响到组分的量值、如制备氮气为背景气的1ppm二氧化碳标准气体, 除了要知道组分气的纯度外,还要知道高纯氮气中CO2的含量。这样才能给出CO2的准确量值。
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储运
1.运输注意事项:无腐蚀性,可使用通用材料.对液Ar可使用奥氏体不锈钢。Ar一般用玻璃瓶或钢瓶贮装。在贮运过程中应轻装轻卸,严防容器碰损。液Ar产量小,可以采用类似于小型液氮屏型的液氦容器贮存和运输。采用此类容器时,其内容的支撑必须补强,以适应液Ar较大的密度。
2.储存注意事项:库房通风低温干燥; 轻装轻卸。
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